一種單晶硅的加熱裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620458630.8 申請日 -
公開（公告）號 CN205653537U 公開（公告）日 2016-10-19
申請公布號 CN205653537U 申請公布日 2016-10-19
分類號 C30B15/14(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李愛萍 申請（專利權(quán)）人 云南三奇光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 云南三奇光電科技有限公司
地址 675899 云南省臨滄市云縣愛華鎮(zhèn)舊村祥臨二級路下側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種單晶硅的加熱裝置，包括用于盛裝單晶硅原料的石英坩堝以及爐體，所述爐體的頂部設(shè)有封蓋，還包括用于將石英坩堝輸送至爐體內(nèi)部的輸送機(jī)構(gòu)，所述石英坩堝的外表面上設(shè)有多個(gè)掛鉤，所述輸送機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)相對布置的輸送單元，所述輸送單元包括：動(dòng)力輪，固定于爐體上方的固定滑輪，與固定滑輪以及動(dòng)力輪相配合的吊繩，所述吊繩上設(shè)有與掛鉤相配合的吊環(huán)，用于驅(qū)動(dòng)動(dòng)力輪轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型操作方便，便于將石英坩堝放入爐體內(nèi)進(jìn)行加熱升溫，同時(shí)也便于從爐體中取出石英坩堝，大大提高了單晶硅的制備效率，省時(shí)省力。