一種用于測(cè)量單晶硅片平整度的裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201620459517.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN205957887U | 公開(kāi)（公告）日 | 2017-02-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN205957887U | 申請(qǐng)公布日 | 2017-02-15 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01B5/28(2006.01)I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李?lèi)?ài)萍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 云南三奇光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 云南三奇光電科技有限公司 |
| 地址 | 675899 云南省臨滄市云縣愛(ài)華鎮(zhèn)舊村祥臨二級(jí)路下側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于測(cè)量單晶硅片平整度的裝置，包括：底座；氣缸，位于底座的下方，用于驅(qū)動(dòng)底座上下運(yùn)動(dòng)；轉(zhuǎn)盤(pán)，位于底座頂部，用于承載單晶硅片；千分表，固定于轉(zhuǎn)盤(pán)上方，用于測(cè)量單晶硅片的厚度；固定支架，用于將千分表固定于轉(zhuǎn)盤(pán)上方；驅(qū)動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)用新型使用時(shí)，首先將單晶硅片放置于轉(zhuǎn)盤(pán)上，然后開(kāi)啟氣缸，氣缸將驅(qū)動(dòng)底座上升至適宜位置，啟動(dòng)然后啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)，改變測(cè)量頭與單晶硅片的接觸位置，通過(guò)不同位置所測(cè)量的高度數(shù)值的差值計(jì)算，即可判斷單晶硅片的平整度情況。 |
