一種潔凈室專用晶圓自動上下料設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010802753.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111933561A | 公開（公告）日 | 2020-11-13 |
| 申請公布號 | CN111933561A | 申請公布日 | 2020-11-13 |
| 分類號 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 龔昱;王偉忠;李耀孟;趙超;劉紅軍 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海新創(chuàng)達(dá)智能科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京同輝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 上海新創(chuàng)達(dá)智能科技有限公司 |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)環(huán)湖西二路888號2幢2區(qū)24144室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開一種潔凈室專用晶圓自動上下料設(shè)備，晶圓自動上下料設(shè)備包括上料機(jī)臺，所述上料機(jī)臺一側(cè)設(shè)有緩存機(jī)臺，緩存機(jī)臺一側(cè)設(shè)有下料機(jī)臺，下料機(jī)臺與上料機(jī)臺左右對稱，金屬烤架前方設(shè)有RFID紅外射頻設(shè)備，安裝框架一側(cè)設(shè)有二維碼讀頭，緩存組件包括鏡像分布的晶圓緩存提升機(jī)構(gòu)，晶圓緩存提升機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)有入口導(dǎo)向裝置，晶圓緩存提升機(jī)構(gòu)之間設(shè)有皮帶輸送機(jī)構(gòu)，皮帶輸送機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)有晶圓定位對中機(jī)構(gòu)，吸盤型真空抓手一端設(shè)有吸盤組件，晶圓預(yù)對準(zhǔn)器上同樣設(shè)有軸向分布的吸盤組件。本發(fā)明采用特殊的真空吸盤，預(yù)對準(zhǔn)器上同樣設(shè)有真空吸盤，設(shè)有多種工作模式，兼容多種晶圓料盒，能自動識別放置料盒種類，減少了人工誤操作帶來的風(fēng)險。?? |
