一種運(yùn)輸晶圓的末端執(zhí)行器及控制方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201811098858.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN109300833B | 公開（公告）日 | 2021-03-05 |
| 申請公布號 | CN109300833B | 申請公布日 | 2021-03-05 |
| 分類號 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 趙寧;白富強(qiáng) | 申請（專利權(quán)）人 | 上海新創(chuàng)達(dá)智能科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海碩力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 馮健強(qiáng) |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)環(huán)湖西二路888號2幢2區(qū)24144室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種運(yùn)輸晶圓的末端執(zhí)行器及控制方法，末端執(zhí)行器包括基板，基板的第一端連接至機(jī)械臂，基板上遠(yuǎn)離第一端的第二端設(shè)有開口，開口的凹陷方向朝基板的第一端延伸；開口周圍設(shè)有若干個吸附機(jī)構(gòu)；吸附機(jī)構(gòu)包括至少一個凹槽，凹槽的側(cè)壁上設(shè)有至少一個出風(fēng)口；基板還設(shè)有吹風(fēng)機(jī)構(gòu)，吹風(fēng)機(jī)構(gòu)通過通風(fēng)道與吸附機(jī)構(gòu)的出風(fēng)口連通；氣體自吹風(fēng)機(jī)構(gòu)抽入，通過通風(fēng)道從出風(fēng)口吹出，在凹槽內(nèi)產(chǎn)生氣旋，氣體在凹槽內(nèi)形成的氣旋而形成低壓，將晶圓吸附于末端執(zhí)行器上；末端執(zhí)行器還包括夾持裝置，夾持裝置用于夾持晶圓。本發(fā)明在抓取晶圓時，末端執(zhí)行器與晶圓表面無接觸，減小了對晶圓的污染和破壞，同時夾持裝置可防止晶圓在運(yùn)輸晶圓時脫落。?? |
