一種在線實(shí)時(shí)檢測外延片溫度的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310651793.9 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN104697643B 公開（公告）日 2018-06-26
申請公布號(hào) CN104697643B 申請公布日 2018-06-26
分類號(hào) G01J5/06 分類 測量；測試;
發(fā)明人 嚴(yán)冬;馬鐵中;王林梓;劉健鵬 申請（專利權(quán)）人 北京智朗芯光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 代理人 劉杰
地址 102206 北京市昌平區(qū)昌平路97號(hào)新元科技園B座503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種在線實(shí)時(shí)檢測外延片溫度的方法，屬于半導(dǎo)體檢測技術(shù)領(lǐng)域。該方法通過引入鍍膜窗口的反射率衰減因子和熱輻射衰減因子，可以準(zhǔn)確測量得到外延片的溫度T。該方法能夠消除反應(yīng)腔窗口鍍膜對在線實(shí)時(shí)溫度檢測值造成的影響、提高在線實(shí)時(shí)溫度檢測值準(zhǔn)確度。