一種DPC工藝用鏡面氮化鋁陶瓷基板的高活性預(yù)處理方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201610040986.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN105679684A | 公開(kāi)（公告）日 | 2016-06-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN105679684A | 申請(qǐng)公布日 | 2016-06-15 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/48(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 余正剛;鄒冠生;單春光;余會(huì);馮華忠;余正偉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 中山市瑞寶電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 中山市銘洋專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 鄒常友 |
| 地址 | 528400 廣東省中山市南朗鎮(zhèn)大車(chē)工業(yè)區(qū)東椏工業(yè)園B幢3樓（中山市嘉興電子有限公司側(cè)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種DPC工藝用鏡面氮化鋁陶瓷基板的高活性預(yù)處理方法，具體步驟為：一、配制活化液；二、鏡面氮化鋁陶瓷基板表面除油處理，在除油溶液中浸泡15~300min后，用純水沖洗干凈；三、鏡面氮化鋁陶瓷基板表面除蠟處理，在除蠟水中浸泡15~300min；四、鏡面氮化鋁陶瓷基板表面活化接枝；五、用去離子水沖凈鏡面氮化鋁基板表面，冷風(fēng)吹干鏡面氮化鋁陶瓷基板上的水后，置于烘箱中烘烤30~180min，自然冷卻后得到高活性的鏡面氮化鋁陶瓷基板。本發(fā)明有效降低了鏡面氮化鋁陶瓷基板DPC工藝中前處理時(shí)對(duì)鏡面氮化鋁表面的損傷，在氮化鋁陶瓷基板表面形成一層超薄的高活性膜層，對(duì)金屬元素具有強(qiáng)浸潤(rùn)作用和附著能力，特別適用于氮化鋁材質(zhì)的IC載板DPC工藝的使用。 |
