一種多頭測(cè)溫裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110634193.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113215648A 公開（公告）日 2021-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN113215648A 申請(qǐng)公布日 2021-08-06
分類號(hào) C30B11/00（2006.01）I;C30B28/06（2006.01）I;G01K1/14（2021.01）I;G01K3/14（2006.01）I;G01K7/02（2021.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 錢小波;唐飛;姜大朋;王慶國(guó);蘇良碧;賈健;許艷濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海德硅凱氟光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海驍象知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙峰
地址 201802上海市嘉定區(qū)真南路4268號(hào)2幢J16043室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種多頭測(cè)溫裝置，包括爐體和測(cè)溫組件；爐體具有一爐腔；爐腔內(nèi)設(shè)有保溫層；保溫層的內(nèi)部為空心結(jié)構(gòu)的保溫腔；保溫腔內(nèi)設(shè)有坩堝和加熱模塊；測(cè)溫組件包括多頭測(cè)溫環(huán)和第一升降機(jī)構(gòu)；多頭測(cè)溫環(huán)設(shè)于爐體內(nèi)；多頭測(cè)溫環(huán)安裝于第一升降機(jī)構(gòu)上，多頭測(cè)溫環(huán)上具有至少兩個(gè)安裝孔，每個(gè)安裝孔內(nèi)均安裝有測(cè)溫元件；坩堝安裝于第二升降機(jī)構(gòu)上；本發(fā)明通過在同一高度上，設(shè)多個(gè)測(cè)溫點(diǎn)，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)同一高度上的多點(diǎn)溫度測(cè)量，通過升降機(jī)構(gòu)的設(shè)置，使多頭測(cè)溫環(huán)可升降運(yùn)動(dòng)，從而能夠?qū)崿F(xiàn)在不同高度上的溫度測(cè)量，保證在具有溫度梯度分布的爐腔內(nèi)，實(shí)現(xiàn)溫度梯度變化的測(cè)量，以直觀體現(xiàn)爐腔內(nèi)軸向立體溫場(chǎng)的動(dòng)態(tài)變化。