一種半導體晶圓快速貼膜臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021417188.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213026053U 公開（公告）日 2021-04-20
申請公布號 CN213026053U 申請公布日 2021-04-20
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李鳳麗 申請（專利權）人 泰州芯格電子科技有限公司
代理機構 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 代理人 鄧凌云
地址 225500江蘇省泰州市姜堰區(qū)羅塘街道南環(huán)西路1001號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導體晶圓快速貼膜臺，包括貼膜裝置本體，貼膜裝置本體的頂部安裝有工作臺，工作臺的四個拐角處均安裝有第二液壓缸，第二液壓缸的頂部安裝有頂板，頂板的底端中部安裝有第一電動伸縮桿，第一電動伸縮桿的底部安裝有壓板，頂板的底部安裝有玻璃外罩，玻璃外罩的底部安裝有密封墊，玻璃外罩的內部一側安裝有膜帶釋放裝置，玻璃外罩的內部另一側安裝有膜帶收繳裝置，工作臺的頂部兩側均設有伸縮桿安裝槽，該貼膜臺整體穩(wěn)定性能強，可以快速移動到合適的位置，靈活性強，可以快速對半導體晶圓進行固定，可以實現(xiàn)自動貼膜，可以對半導體晶圓上的灰塵進行清理，貼膜的時候還能提供照明，便于操作者使用。??