一種芯片測(cè)試探針臺(tái)防打火裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023172851.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214310595U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN214310595U 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類(lèi)號(hào) G01R1/02（2006.01）I;F17D1/00（2006.01）I;F17D1/02（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;F17D3/18（2006.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 徐明星;夏冬生;張朝奇;馬齊營(yíng) 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 山東芯諾電子科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島發(fā)思特專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 盧登濤
地址 272100山東省濟(jì)寧市兗州區(qū)兗顏路路北（天齊廟村村西）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)一種芯片測(cè)試探針臺(tái)防打火裝置，屬于半導(dǎo)體電子元器件制造技術(shù)領(lǐng)域，包括氮?dú)?、浮子流量?jì)、通氣管和洗氣瓶，所述氮?dú)馔ㄟ^(guò)浮子流量計(jì)和通氣管通入洗氣瓶中，洗氣瓶中盛裝有全氟聚醚油，使用氮?dú)獯龠M(jìn)全氟聚醚油揮發(fā)成氣體，所述洗氣瓶的外部聯(lián)接有出氣管，通過(guò)出氣管將揮發(fā)的氣體分送至各探針臺(tái)管道中。本裝置使用氮?dú)獯龠M(jìn)全氟聚醚油揮發(fā)，將揮發(fā)后氣體由氮?dú)廨斔椭咙c(diǎn)測(cè)機(jī)臺(tái)使點(diǎn)測(cè)芯片全部被全氟聚醚油氣體覆蓋杜絕集中電場(chǎng)電離現(xiàn)象，本裝置能夠?yàn)闇y(cè)試時(shí)每顆芯片提供全氟聚醚油氣體氛圍，增加生產(chǎn)效率，滿(mǎn)足了生產(chǎn)需求，提高了產(chǎn)量。利用本裝置進(jìn)行芯片測(cè)試其效果完全滿(mǎn)足測(cè)試要求。