一種晶圓定位裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121304407.5 申請日 -
公開（公告）號 CN214848577U 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN214848577U 申請公布日 2021-11-23
分類號 H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔡正道;陶為銀;鞏鐵建;喬賽賽 申請（專利權）人 河南通用智能裝備有限公司
代理機構 鄭州芝麻知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 喬俊霞
地址 450000河南省鄭州市高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)瑞達路96號創(chuàng)業(yè)中心2號樓一樓A130-10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓定位裝置，涉及晶圓生產設備技術領域，包括安裝塊和定位塊，滑動桿的上端固定連接有壓縮彈簧，轉動桿遠離滑動桿的一端通過轉軸轉動連接有滑動塊，固定軸的外表面轉動連接有撥桿，滑動軸的一端與滑動桿固定連接，限位塊的一側面固定連接有緩沖彈簧，導軌的中部插接有頂塊，螺紋桿的外表面螺紋連接有固定塊。本實用新型通過設置撥桿、固定軸、傳動槽、滑動軸、滑動桿、壓縮彈簧、轉動桿和滑動塊，該機構可使得對晶圓的裝夾更加方便快捷，可在一定程度上提高工作效率，通過設置固定塊、螺紋桿、頂塊、固定塊、緩沖彈簧和限位塊，該機構最終實現(xiàn)對晶圓的防護，防止在裝夾時對晶圓造成損壞或變形。