一種晶圓托盤(pán)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121312310.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214848535U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN214848535U 申請(qǐng)公布日 2021-11-23
分類號(hào) H01L21/673（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鞏鐵建;陶為銀;蔡正道;張偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河南通用智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州芝麻知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 喬俊霞
地址 450000河南省鄭州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)瑞達(dá)路96號(hào)創(chuàng)業(yè)中心2號(hào)樓一樓A130-10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓托盤(pán)，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶圓托盤(pán)，包括托盤(pán)本體，所述托盤(pán)本體的頂部分別固定連接有支撐桿和配合塊，所述支撐桿的頂部通過(guò)軸桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接有條形塊。該晶圓托盤(pán)，通過(guò)支撐桿、條形塊、圓塊、固定塊、電動(dòng)液壓推桿、連接桿、圓桿、小球和墊塊的設(shè)置，使該晶圓托盤(pán)具備了方便對(duì)晶圓進(jìn)行固定的效果，在使用的過(guò)程中電動(dòng)液壓推桿的活動(dòng)端伸出，使圓塊在條形槽的內(nèi)部移動(dòng)，使條形塊轉(zhuǎn)動(dòng)，使小球與放置在墊塊上的晶圓抵接，限制晶圓的位置，且小球和墊塊的材質(zhì)均為橡膠，避免壓壞晶圓，從而起到了方便對(duì)晶圓進(jìn)行固定的作用，達(dá)到了方便對(duì)晶圓進(jìn)行固定的目的。