基于超聲波的半導(dǎo)體芯片缺陷檢測(cè)系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921685912.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211652689U | 公開（公告）日 | 2020-10-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211652689U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-09 |
| 分類號(hào) | G01N29/04(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 朱汪龍;朱玲 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫樂東微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 樓高潮 |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)景賢路52號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種基于超聲波的半導(dǎo)體芯片缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，包括：傳輸裝置，半導(dǎo)體芯片在所述傳輸裝置上運(yùn)輸；包括超聲波探頭的超聲波檢測(cè)裝置，該超聲波檢測(cè)裝置設(shè)置于所述傳輸裝置的正上方，并向所述傳輸裝置發(fā)射超聲波信號(hào)；主控裝置，與所述超聲波檢測(cè)裝置相連接；報(bào)警裝置，所述報(bào)警裝置與所述主控裝置相連接；當(dāng)所述半導(dǎo)體芯片在所述傳輸裝置上傳輸時(shí)，所述超聲波檢測(cè)裝置向所述半導(dǎo)體芯片上發(fā)射超聲波，當(dāng)所述主控裝置判斷出所述半導(dǎo)體芯片外觀存在缺陷時(shí)，所述報(bào)警裝置進(jìn)行報(bào)警。采用該種結(jié)構(gòu)的基于超聲波的半導(dǎo)體芯片缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，對(duì)半導(dǎo)體芯片進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)，準(zhǔn)確性高、可靠性強(qiáng)。?? |
