一種單晶硅片的邊角磨削裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921613254.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211305812U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-08-21 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211305812U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-21 |
| 分類號(hào) | B24B9/06(2006.01)I;B24B41/06(2012.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 朱汪龍;朱玲 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫樂(lè)東微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 樓高潮 |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)景賢路52號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種單晶硅片的邊角磨削裝置，其中包括機(jī)架、工作臺(tái)和砂輪磨削組件，所述的工作臺(tái)和砂輪磨削組件均設(shè)置于所述的機(jī)架上，且所述的砂輪磨削組件相對(duì)于工作臺(tái)可前后移動(dòng)，所述的工作臺(tái)由基體和基體上的多個(gè)支架組成，每個(gè)支架和相鄰支架之間設(shè)置一組可繞其中心軸旋轉(zhuǎn)的夾緊組件。采用該種結(jié)構(gòu)的單晶硅片的邊角磨削裝置，通過(guò)設(shè)置工作臺(tái)以及上面的多個(gè)工位，一次上件可以設(shè)置多個(gè)單晶硅片，從而實(shí)現(xiàn)一次裝件對(duì)多個(gè)工件進(jìn)行加工，減少了工作人員的操作步驟，大大提高了加工效率，對(duì)于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池等行業(yè)的單晶硅片供給都有很重要的意義；并且整體產(chǎn)品結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作容易，具有更廣泛應(yīng)用范圍。?? |
