一種清洗劑及應(yīng)用清洗劑清洗半導(dǎo)體硅片的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911029424.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110804502A 公開(kāi)（公告）日 2020-02-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN110804502A 申請(qǐng)公布日 2020-02-18
分類(lèi)號(hào) C11D1/72;C11D3/20;C11D3/60;C11D3/24;C11D3/39;C11D7/06;C11D7/08;C11D7/60;C11D11/00;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12 分類(lèi) 動(dòng)物或植物油、脂、脂肪物質(zhì)或蠟；由此制取的脂肪酸；洗滌劑；蠟燭;
發(fā)明人 朱汪龍;朱玲 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 無(wú)錫樂(lè)東微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 樓高潮
地址 214000 江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)景賢路52號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種具有良好清洗效果的清洗劑，其包括：試劑一：體積比為3:1:2:3的丙二醇或異丙醇、壬基酚聚氧乙烯醚、反?1,2?二氯乙烯、去離子水混合溶液；試劑二：體積比為4:1的硫酸、雙氧水混合溶液；試劑三：體積比為1:1:5的氫氧化銨、雙氧水、去離子水混合溶液；試劑四：體積比為3:1:1000的氫氟酸、雙氧水、去離子水混合溶液，本發(fā)明同時(shí)公開(kāi)了一種應(yīng)用上述清洗劑清洗半導(dǎo)體硅片的方法。