一種超聲波單晶硅片清洗槽
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921873971.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN210995606U | 公開（公告）日 | 2020-07-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210995606U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-14 |
| 分類號(hào) | B08B3/12(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 朱汪龍;朱玲 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫樂(lè)東微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 石艷紅 |
| 地址 | 214028江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)景賢路52號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種超聲波單晶硅片清洗槽，包括絲桿、螺母塊、電機(jī)、電動(dòng)伸縮桿、超聲波振子、升降板、連接管、真空吸盤以及真空泵，支撐板左端面上側(cè)裝配有電機(jī)，電機(jī)右端面安裝有絲桿，絲桿環(huán)形側(cè)面安裝有螺母塊，螺母塊下端面裝配有電動(dòng)伸縮桿，電動(dòng)伸縮桿下端面固定有升降板，升降板上端面中間位置裝配有真空泵，真空泵左端面安裝有連接管，升降板下端面安裝有真空吸盤，真空泵通過(guò)連接管與真空吸盤相連接，超聲波振子安裝在清洗斗內(nèi)壁，該設(shè)計(jì)解決了原有單晶硅片不方便超聲波清洗的問(wèn)題，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，方便單晶硅片送料清洗，清洗效率高。?? |
