一種快速測(cè)量多晶硅中微量硼雜質(zhì)的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410014232.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103760218B 公開(kāi)（公告）日 2015-10-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN103760218B 申請(qǐng)公布日 2015-10-28
分類號(hào) G01N27/62(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王曉艷;楊鳳炳;李偉生;龔炳生 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 福建興朝陽(yáng)硅材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京元中知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 福建興朝陽(yáng)硅材料股份有限公司
地址 364211 福建省龍巖市上杭縣南陽(yáng)鎮(zhèn)射山村富坑湖洋塘背路1-2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種快速測(cè)量多晶硅中微量硼雜質(zhì)的方法。包括：稱取多晶硅樣品試樣；向試樣中加入甘露醇溶液；再向試樣中加入碳酸鉀溶液；然后加入氫氟酸，再緩慢滴入硝酸進(jìn)行酸化溶解；待試樣溶解后，加熱至白煙冒盡，停止加熱；向試樣中加入鹽酸浸泡，再用少量的純水稀釋，冷卻；待冷卻后，向溶液中加入甲醇，搖勻，定容；定容后，用氨水和純水分別沖洗ICP-MS；待ICP-MS沖洗完成，將定容后的溶液試樣采用ICP-MS檢測(cè)，即可精確測(cè)量出樣品的硼含量。本方法工藝簡(jiǎn)單，成本低，測(cè)量精確、能快速測(cè)量多晶硅中硼的含量。