OPC檢測方法、計算機設(shè)備及計算機可讀存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110691403.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113376954B 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN113376954B 申請公布日 2022-03-22
分類號 G03F1/36（2012.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 夏國帥 申請（專利權(quán)）人 上海積塔半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 盧炳瓊
地址 200120上海市浦東新區(qū)云水路600號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種OPC檢測方法、計算機設(shè)備及計算機可讀存儲介質(zhì)，其中，通過對第二目標(biāo)圖形進(jìn)行圓化處理后，得到的圓化圖形更加接近實際硅片的圖形，可以減少由于與實際硅片圖形間的差異所引起的誤報錯；通過第一仿真圖形與第二圓化圖形之間的邏輯否運算后，進(jìn)行圍住率檢測，可進(jìn)一步的減少圍住率檢查的誤報錯，從而得到更為準(zhǔn)確的OPC檢測的結(jié)果圖形。