一種半導(dǎo)體零部件的清洗液過濾裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021435491.X 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN213854162U 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號(hào) CN213854162U 申請公布日 2021-08-03
分類號(hào) B01F7/24（2006.01）I;B01F3/22（2006.01）I;B01F15/00（2006.01）I;B01D36/02（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 陳如明;陳彩麗;卜慶磊;楊子健 申請（專利權(quán)）人 英迪那米（徐州）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京權(quán)智天下知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 徐小淇
地址 221600江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)廟山路1號(hào)2號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體零部件的清洗液過濾裝置，其特征在于：包括過濾箱、橫板、輥軸、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及若干個(gè)過濾盒，所述橫板固定安裝在所述過濾箱內(nèi)，且其上開設(shè)有若干個(gè)篩孔，所述輥軸轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述橫板與所述過濾箱的頂板之間，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在所述過濾箱的頂部，且其與所述輥軸傳動(dòng)連接，所述輥軸的外圓周面上固定套接有螺旋葉片，所述過濾盒可拆卸式的密封固定在所述過濾箱的箱壁上，且其內(nèi)填充有活性炭顆粒，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)在于：實(shí)現(xiàn)過濾箱內(nèi)清洗液的充分混合，保證了半導(dǎo)體零部件的清洗效率和質(zhì)量，同時(shí)，大大減少了清洗液中的雜質(zhì)顆粒含量，保證了半導(dǎo)體零部件表面的潔凈，保障半導(dǎo)體的生產(chǎn)質(zhì)量。