一種烘烤裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023337252.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215141732U 公開（公告）日 2021-12-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN215141732U 申請(qǐng)公布日 2021-12-14
分類號(hào) B05D3/02（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 白文;徐虎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 徐州芯思杰半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳智匯遠(yuǎn)見知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 艾青;牛悅涵
地址 221300江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)創(chuàng)業(yè)路26號(hào)A-8號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種烘烤裝置，屬于芯片加工技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型的烘烤裝置包括烘烤腔室，所述烘烤腔室設(shè)置有開口，所述開口處設(shè)置有門體組件，所述門體組件上包括升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)包括第一驅(qū)動(dòng)部件、第一絲桿以及滑桿，所述絲桿沿豎直方向延伸，且與所述門體組件螺紋連接，所述第一驅(qū)動(dòng)部件與所述絲桿相連，所述滑桿沿豎直方向延伸，且與所述門體組件滑動(dòng)連接。本實(shí)用新型的烘烤裝置，通過升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)門體實(shí)現(xiàn)自動(dòng)升降，從而實(shí)現(xiàn)門體的自動(dòng)開閉，節(jié)省了人力。