一種晶圓運(yùn)輸機(jī)械手
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111277290.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114131621A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114131621A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-04 |
| 分類(lèi)號(hào) | B25J11/00（2006.01）I;B25J15/06（2006.01）I;B65G47/91（2006.01）I;B65G49/07（2006.01）I | 分類(lèi) | 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車(chē)間設(shè)備；機(jī)械手; |
| 發(fā)明人 | 陳文波;楊云春;郭鵬飛;陸原 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京眾達(dá)德權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 劉天虹 |
| 地址 | 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)科創(chuàng)十四街99號(hào)33幢D棟二層2208號(hào)（集中辦公區(qū)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了晶圓運(yùn)輸機(jī)械手，主體；兩個(gè)吸附臂，間隔設(shè)置在所述主體上，所述兩個(gè)吸附臂上均間隔設(shè)置有兩個(gè)以上真空孔；兩個(gè)以上負(fù)壓管路，各所述負(fù)壓管路均與至少兩個(gè)所述真空孔連通，以構(gòu)成吸附系統(tǒng)；各所述吸附系統(tǒng)的最大真空孔間距不同?？梢酝瑫r(shí)適用于兩種以上尺寸晶圓的抓取搬運(yùn)，提高了晶圓運(yùn)輸機(jī)械手的兼容性，能很大程度上提高晶圓的生產(chǎn)效率。吸附系統(tǒng)中的至少兩個(gè)真空孔作為吸附支點(diǎn)，以通過(guò)至少兩個(gè)吸附支點(diǎn)平穩(wěn)抓取運(yùn)輸晶圓。且各所述吸附系統(tǒng)的最大真空孔間距不同，使得晶圓運(yùn)輸機(jī)械手可通過(guò)兩個(gè)以上的吸附系統(tǒng)抓取搬運(yùn)運(yùn)輸不同尺寸的晶圓，比如四寸、六寸、八寸和十二寸中的至少兩種晶圓。 |
