一種硅片取放機構
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021379812.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213026074U | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請公布號 | CN213026074U | 申請公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號 | H01L21/677(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 吳廷斌;張學強;張建偉;羅銀兵;李學文 | 申請（專利權）人 | 羅博特科智能科技南通有限公司 |
| 代理機構 | 蘇州市中南偉業(yè)知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 劉相宇 |
| 地址 | 226000江蘇省南通市開發(fā)區(qū)中央路76號海關大樓223-17室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及硅片搬運設備領域，涉及一種硅片取放機構。本實用新型通過取放抓手將硅片從花籃與石墨舟之間進行相互搬運，可同時對應處理2石墨舟，4花籃或8花籃上的硅片取放需求，極大的提高了硅片取放效率，通在雙面移動軌道兩側(cè)設置兩個取放組件，即4個取放部件兩兩背靠背設置在雙面移動軌道上，每個取放部件進行獨立工作，X軸驅(qū)動部件可快速響應產(chǎn)能需要以及取放部件在雙面移動軌道上遠距離搬運硅片需求。?? |
