低信噪比下的硅單晶生長圖像的自適應(yīng)隨機(jī)共振去噪方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810199562.1 申請日 -
公開（公告）號 CN108550116B 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN108550116B 申請公布日 2021-11-09
分類號 G06T5/00;G06N3/00 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 焦尚彬;劉倩 申請（專利權(quán)）人 西安奕斯偉設(shè)備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 許靜
地址 710000 陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號1-3-029室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了低信噪比下的硅單晶生長圖像的自適應(yīng)隨機(jī)共振去噪方法，針對低信噪比下的硅單晶生長圖像，將雙穩(wěn)態(tài)隨機(jī)共振與PSO尋優(yōu)算法相結(jié)合，設(shè)計(jì)了基于PSO的自適應(yīng)隨機(jī)共振圖像去噪算法。本發(fā)明利用隨機(jī)共振具有無損檢測微弱信號的優(yōu)點(diǎn)，對低信噪比下的硅單晶生長圖像進(jìn)行去噪增強(qiáng)，提高圖像的質(zhì)量。利用PSO尋優(yōu)算法，將Donoho噪聲標(biāo)準(zhǔn)差作為尋優(yōu)算法的適應(yīng)度函數(shù)，對隨機(jī)共振的系統(tǒng)參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整以獲得最佳共振輸出效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)圖像去噪。經(jīng)過該方法對低信噪比下的硅單晶生長圖像處理后，可有效去除噪聲，提高圖像的質(zhì)量，進(jìn)而使得低信噪比下的硅單晶圖像的彎月面能準(zhǔn)確檢測，為晶體直徑的準(zhǔn)確檢測奠定了基礎(chǔ)。