一種檢測設備和單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110256410.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113049022A 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN113049022A 申請公布日 2021-06-29
分類號 G01D21/00;C30B15/00;C30B29/06;G08C19/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王富龍 申請（專利權）人 西安奕斯偉設備技術有限公司
代理機構 北京銀龍知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 黃燦;顧春天
地址 710000 陜西省西安市高新區(qū)丈八街辦瞪羚路26號西安理工大學科技園E2-002
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種檢測設備和單晶爐。檢測設備應用于單晶爐，單晶爐包括爐體、密封爐體的密封件以及設置于爐體上的提拉軟軸，提拉軟軸的材料包括金屬材料，提拉軟軸與爐體之間密封且絕緣設置，且提拉軟軸的一端延伸至爐體內(nèi)部，另一端位于爐體的外側(cè)；檢測設備包括相互連接的執(zhí)行模塊、通信模塊和電源模塊，通信模塊與提拉軟軸電連接，且提拉軟軸用于為通信模塊傳輸信號。本發(fā)明實施例通過利用提拉軟軸傳輸信號，通過有線傳輸?shù)姆绞剑朔藛尉t的爐體對于信號的屏蔽，不需要多次開啟和關閉單晶爐，此外，也不需要單獨設置傳輸?shù)男盘柧€，不會對單晶爐的密閉效果造成影響，有利于提高測試效率和測試準確程度。