吸盤裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120295146.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214830777U 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN214830777U 申請公布日 2021-11-23
分類號 C30B15/00（2006.01）I;C30B15/10（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 西安奕斯偉設(shè)備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 許靜;張博
地址 710000陜西省西安市高新區(qū)丈八街辦瞪羚路26號西安理工大學(xué)科技園E2-002
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種吸盤裝置，用于吊裝運(yùn)輸石英坩堝，包括吸盤本體，所述吸盤本體用于通過密封墊與石英坩堝密封連接，所述吸盤本體上設(shè)置有進(jìn)氣口和出氣口，所述出氣口上設(shè)置有與真空泵連接的真空閥，以將所述吸盤本體和所述石英坩堝形成的腔體抽真空，還包括位于所述密封墊遠(yuǎn)離所述吸盤本體的一側(cè)的第一壓環(huán)，和設(shè)置于所述第一壓環(huán)外圍的第二壓環(huán)，所述第一壓環(huán)和所述第二壓環(huán)之間具有供石英坩堝的側(cè)壁插入的第一間隙。