亞表面缺陷的檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110238855.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113008796A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN113008796A 申請(qǐng)公布日 2021-06-22
分類號(hào) G01N21/01;G01N21/95 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 馮勝;翟中生;王選擇;謝博婭 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 赤壁精邁光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳敏
地址 437315 湖北省咸寧市赤壁市中伙鋪鎮(zhèn)高新區(qū)美麗健康產(chǎn)業(yè)園33棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種亞表面缺陷的檢測(cè)裝置，包括：光源組件，所述光源組件適宜于產(chǎn)生照明光，所述照明光為發(fā)散光；所述照明光耦合入待檢測(cè)件中以形成波導(dǎo)光，所述波導(dǎo)光在所述待檢測(cè)件中以導(dǎo)波模式傳播；成像組件，所述成像組件包括：面陣圖像傳感器，所述面陣圖像傳感器適宜于采集被散射的波導(dǎo)光以獲得缺陷圖像；處理組件，所述處理組件適宜于對(duì)所述缺陷圖像進(jìn)行處理。所述檢測(cè)裝置能夠?qū)崿F(xiàn)多角度檢測(cè)以提高成像效率；而且，成像組件中采用面陣圖像傳感器獲得缺陷圖像，配合呈發(fā)散光的照明光，能夠避免掃描的方式的引用，從而避免機(jī)械振動(dòng)干擾、降低同步控制難度。