一種擴晶裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120737933.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214313175U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214313175U 申請公布日 2021-09-28
分類號 H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張勇;陳樹斌 申請（專利權(quán)）人 東莞觸點智能裝備有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 牛亭亭
地址 523000廣東省東莞市松山湖園區(qū)工業(yè)北四路1號5棟312室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型實施例公開了一種擴晶裝置，用于解決現(xiàn)有擴晶裝置中的晶圓臺無法進行位置調(diào)整，導(dǎo)致工作效率較低的技術(shù)問題。本實用新型實施例包括底座、X軸直線驅(qū)動模組、Y軸直線驅(qū)動模組、承托板以及晶圓臺；所述X軸直線驅(qū)動模組安裝于所述底座上，所述Y軸直線驅(qū)動模組連接于所述X軸直線驅(qū)動模組上，所述X軸直線驅(qū)動模組可驅(qū)動所述Y軸直線驅(qū)動模組沿X軸方向移動，所述承托板連接于所述Y軸直線驅(qū)動模組上，所述Y軸直線驅(qū)動模組可驅(qū)動所述承托板沿Y軸方向移動，所述晶圓臺轉(zhuǎn)動連接于所述承托板上，所述承托板上安裝有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動模組，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動模組與所述晶圓臺連接，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動模組可驅(qū)動所述晶圓臺相對于所述承托板轉(zhuǎn)動。