藍(lán)寶石生長設(shè)備及其籽晶快速更換裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201020287649.3 申請日 -
公開（公告）號 CN201778147U 公開（公告）日 2011-03-30
申請公布號 CN201778147U 申請公布日 2011-03-30
分類號 C30B29/20(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 程亮 申請（專利權(quán)）人 上海昀豐光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 逯長明
地址 201201 上海市張江高科技產(chǎn)業(yè)東區(qū)勝利路836號7幢甲501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種籽晶快速更換裝置，用于對藍(lán)寶石生長設(shè)備中的籽晶進(jìn)行快速更換，包括：依次設(shè)置在所述藍(lán)寶石生長設(shè)備的頂蓋和波紋管之間的插板閥和隔離室，所述隔離室上設(shè)置有排氣閥。本實用新型實施例提供的籽晶快速更換裝置，縮短了籽晶更換的時間，同時減少了籽晶在更換過程中能源的消耗，消除了現(xiàn)有的籽晶更換過程中對各個部件損壞的風(fēng)險?；谏鲜鰧嵤├峁┑淖丫Э焖俑鼡Q裝置，本實用新型實施例還提供了一種具有上述籽晶快速更換裝置的藍(lán)寶石生長設(shè)備。