一種自動檢測單晶硅棒晶向的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120304805.0 申請日 -
公開(公告)號 CN214503511U 公開(公告)日 2021-10-26
申請公布號 CN214503511U 申請公布日 2021-10-26
分類號 G01N33/00(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 趙亮;婁勇 申請(專利權(quán))人 錦州佑華硅材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽友和欣知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 楊群;郭悅
地址 121000遼寧省錦州市太和區(qū)錦州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)邵陽路海景花園20-45號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種自動檢測單晶硅棒晶向的裝置,包括固定板、支架、支撐臂和固定基座,所述固定基座的中間設(shè)置有升降護(hù)罩,所述固定基座的一側(cè)設(shè)置有晶向檢測傳感器,所述固定基座的邊緣處設(shè)置有放置裝置,所述放置裝置包括放置板、卡緊螺柱、固定槽、固定環(huán)和轉(zhuǎn)動銷,所述固定基座的邊緣處設(shè)置有轉(zhuǎn)動銷,所述固定基座通過轉(zhuǎn)動銷與放置板相連接。本實用新型所述的一種自動檢測單晶硅棒晶向的裝置,屬于單晶硅棒晶向領(lǐng)域,通過將放置板繞著轉(zhuǎn)動銷轉(zhuǎn)動,然后通過卡緊螺柱將固定環(huán)進(jìn)行固定,從而使得可以將檢測報廢的單晶硅棒放在放置板上,通過旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動軸使得齒輪與齒條相傳動,從而可以將升降護(hù)罩進(jìn)行升降,比較方便。