自動(dòng)凈化HVPE取片艙環(huán)境系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021897595.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213327929U | 公開（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213327929U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號(hào) | C30B25/08（2006.01）I;C30B25/14（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 李枝旺;王亮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 鎵特半導(dǎo)體科技（銅陵）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 銅陵市嘉同知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 程玉霞 |
| 地址 | 244000安徽省銅陵市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)天門山北道3139號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了自動(dòng)凈化HVPE取片艙環(huán)境系統(tǒng)，它包括：反應(yīng)腔（1）；取片艙（2）；所述取片艙安裝于反應(yīng)腔底部；閘閥（3），所述閘閥安裝于反應(yīng)腔底部和取片艙頂部之間；排氣控制系統(tǒng)，所述排氣控制系統(tǒng)分別與反應(yīng)腔和取片艙連通。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型的有益效果是設(shè)計(jì)了一種含反應(yīng)腔、閘閥、氣動(dòng)閥、泵、排氣控制系統(tǒng)的裝置，最大限度解決上、下片污染腔體環(huán)境而導(dǎo)致每次上、下片生長前幾爐生長質(zhì)量相對(duì)差等問題。?? |
