干式真空泵

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110920587.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113417852A 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN113417852A 申請公布日 2021-09-21
分類號 F04C25/02（2006.01）I;F04C23/00（2006.01）I;F04C28/00（2006.01）I;F04C29/00（2006.01）I;F04C29/12（2006.01）I 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 周賢忠;沈文武 申請（專利權(quán)）人 四川萊斯特真空科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 楊勛
地址 610000四川省成都市天府新區(qū)新興街道天工大道916號天科創(chuàng)造產(chǎn)業(yè)基地A2-1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種干式真空泵，涉及光伏半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。干式真空泵包括殼體和兩個一體式轉(zhuǎn)子，殼體的內(nèi)部開設(shè)有容置空腔，兩個一體式轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動安裝在容置空腔內(nèi)，兩個一體式轉(zhuǎn)子相互嚙合，兩個一體式轉(zhuǎn)子用于同步反向轉(zhuǎn)動，以排出容置空腔內(nèi)的氣體。干式真空泵的零件數(shù)量較少，減少加工難度，降低生產(chǎn)成本和裝配難度，提升設(shè)備的性能和使用壽命。