一種光學檢測儀器及其檢測方法和偏心調校方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910645802.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110514407B 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN110514407B 申請公布日 2021-08-24
分類號 G01M11/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 邱家鋮;陳凱;談順毅;邱忠杰 申請（專利權）人 上海慧希電子科技有限公司
代理機構 上海段和段律師事務所 代理人 李佳俊
地址 334000 江西省上饒市上饒經濟技術開發(fā)區(qū)龍門路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光學檢測儀器，包括控制系統(tǒng)、輸出系統(tǒng)、接收系統(tǒng)，輸出系統(tǒng)包括光源和空間光調制器，其中光源發(fā)出的光線傳輸至空間光調制器，控制系統(tǒng)控制的空間光調制器后在光路中生成一個或多個圖像；輸出系統(tǒng)所成的圖像經過被測樣品透射和/或反射后變?yōu)榉答佇畔?，反饋信息被接收系統(tǒng)接收；控制系統(tǒng)比較反饋信息與輸出像的區(qū)別分析計算出被測樣品信息。本發(fā)明利用空間光調制器的特性生成和/或改變全息圖以滿足檢測需求，只需改變全息圖就可實現移動鏡頭的效果，可用于測量透鏡偏心、厚度、折射率等參數，使檢測設備可以實現固態(tài)化，有利于縮短更換樣本重新定位的時間，也可用于在流水線上快速自動化批量加工檢測光學元器件。