微流控芯片的微柱結構制作方法及微柱結構圖案生成方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810331430.X 申請日 -
公開（公告）號 CN108545693B 公開（公告）日 2018-09-18
申請公布號 CN108545693B 申請公布日 2018-09-18
分類號 B81C1/00(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 王姍姍;張道森;梁帥 申請（專利權）人 廣東順德墨賽生物科技有限公司
代理機構 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 代理人 廣東順德墨賽生物科技有限公司
地址 528300廣東省佛山市順德區(qū)北滘鎮(zhèn)設計城居委會三樂路北1號設計城二期研究院大樓7樓702室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種微流控芯片的微柱結構制作方法及微柱結構圖案生成方法，其中，微流控芯片的微柱結構制作方法，包括：將掩模板的空白面緊貼放置在基片的負性光刻膠上，并曝光負性光刻膠，得到待制作微流控芯片上各微柱對應的倒圓錐形區(qū)域；倒圓錐形區(qū)域為負性光刻膠的未感光區(qū)；掩模板為印制有待制作微流控芯片的微柱結構圖案的掩模板；對曝光后的負性光刻膠進行顯影，洗脫各倒圓錐形區(qū)域；將顯影后的負性光刻膠加熱堅模，得到待制作微流控芯片的微柱結構的模具。本發(fā)明可實現(xiàn)在同一微流控芯片上加工制作多種高度的微柱，制作簡單，成本低，且得到的微柱結構陣列精度高。??