一種水解法處理四氯化硅的方法和系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110307904.5 申請日 -
公開（公告）號 CN103043610B 公開（公告）日 2015-06-17
申請公布號 CN103043610B 申請公布日 2015-06-17
分類號 C01B7/03(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 張吉瑞 申請（專利權(quán)）人 北京華宇同方化工科技開發(fā)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京邦信陽專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 北京華宇同方化工科技開發(fā)有限公司
地址 100089 北京市海淀區(qū)紫竹院路88號紫竹花園B-604
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種處理多晶硅生產(chǎn)的副產(chǎn)物四氯化硅的方法和系統(tǒng)，通過將四氯化硅水解轉(zhuǎn)化為無水氯化氫氣體，同時生成白炭黑，從而將毒害物質(zhì)四氯化硅轉(zhuǎn)化為高價值的產(chǎn)品。其中無水氯化氫氣體可以用于制備多晶硅生產(chǎn)的原料三氯氫硅，從而實現(xiàn)了多晶硅生產(chǎn)中氯元素的循環(huán)利用，達(dá)到資源節(jié)約和環(huán)境友好的目的。