一種等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110046681.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102102226A 公開（公告）日 2011-06-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN102102226A 申請(qǐng)公布日 2011-06-22
分類號(hào) C30B33/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王飛;宋志安;賴汝萍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 神硅新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京捷誠信通專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 董琪
地址 325000 浙江省蒼南縣靈溪鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)二期環(huán)城北路以南溫州神硅電子有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置及方法，包括拼接機(jī)構(gòu)及配套的吸拿工具，通過承載對(duì)中桶上的定位螺絲固定等徑短圓晶棒或等邊方錠，并通過同心度確定裝置確保上下疊置的四個(gè)等徑短圓晶棒或等邊方錠的同心度，把四個(gè)等徑短圓晶棒的四個(gè)結(jié)晶對(duì)稱棱線由下至上對(duì)齊，或把四個(gè)等邊方錠的四角由下至上對(duì)齊，在等徑短圓晶棒或等邊方錠的外表面上劃一直線作為二次對(duì)接線，用吸拿工具將上面的第二～第四個(gè)等徑短圓晶棒或等邊方錠依次提出，抹上粘接劑后按二次對(duì)接線重新對(duì)齊、固定，完成拼接。本發(fā)明所述的拼接裝置及方法，拼接時(shí)間短，拼接好的等長晶圓棒或等長方晶錠的同心度好，四個(gè)結(jié)晶對(duì)稱棱線或方錠四角容易對(duì)齊，易于標(biāo)準(zhǔn)化和規(guī)?；a(chǎn)。