一種化學(xué)氣相沉積尾氣回收裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911329217.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110975433A 公開（公告）日 2020-04-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN110975433A 申請(qǐng)公布日 2020-04-10
分類號(hào) B01D46/00;B01D46/12;B01D53/00;B01D53/04;C01B33/107;C07F7/12;C07F7/20;C23C16/32;C23C16/44 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 劉佳寶;汪洋;萬(wàn)強(qiáng);柴攀;其他發(fā)明人請(qǐng)求不公開姓名 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南德智新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)沙朕揚(yáng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湖南德智新材料有限公司
地址 412007 湖南省株洲市天元區(qū)中國(guó)動(dòng)力谷自主創(chuàng)新園（研發(fā)中心C棟2樓202號(hào)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種化學(xué)氣相沉積尾氣回收裝置，包括活性炭氈過濾器、一級(jí)冷卻回收器和二級(jí)冷卻回收器，活性炭氈過濾器的入口通過管道與化學(xué)氣相沉積爐的排氣口連通，活性炭氈過濾器的出口通過管道與一級(jí)冷卻回收器的入口端相連通，一級(jí)冷卻回收器的出口通過管道與二級(jí)冷卻回收器的入口端相連通，二級(jí)冷卻回收器的出口端與真空泵相連接。本發(fā)明可以有效清除化學(xué)氣相沉積法制備碳化硅涂層或碳化硅納米線等尾氣中的粉塵顆粒，并回收尾氣中的四氯化硅和三氯甲基硅烷，降低生產(chǎn)成本，減少對(duì)環(huán)境的污染的同時(shí)，延長(zhǎng)了真空泵的使用壽命。