一種CVD制備碳化硅陶瓷的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911370627.5 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN111018535A 公開（公告）日 2020-04-17
申請公布號(hào) CN111018535A 申請公布日 2020-04-17
分類號(hào) C04B35/573;C04B35/622 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 劉佳寶;汪洋;萬強(qiáng);柴攀;其他發(fā)明人請求不公開姓名 申請（專利權(quán)）人 湖南德智新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙朕揚(yáng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湖南德智新材料有限公司
地址 412007 湖南省株洲市天元區(qū)中國動(dòng)力谷自主創(chuàng)新園（研發(fā)中心C棟2樓202號(hào)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種CVD制備碳化硅陶瓷的方法，包括以下步驟：(1)用石墨紙將石墨基體包裹起來，只暴露石墨基體的一面；(2)將經(jīng)步驟(1)處理的石墨基體放入管式爐中，通入三氯甲基硅烷、氬氣和氫氣進(jìn)行氣相沉積；(3)除掉石墨基體表面包裹的石墨紙；(4)對步驟(3)后得到的材料進(jìn)行熱處理，得到碳化硅陶瓷塊體。本發(fā)明的制備過程中先用石墨紙將石墨基體包裹起來，只暴露石墨基體的一面，其余各面均采用石墨紙包裹起來，然后進(jìn)行氣相沉積，通過控制沉積的流量和時(shí)間，在基體裸露的表面沉積厚厚一層塊狀碳化硅，再去掉石墨紙，并進(jìn)行熱處理去除石墨基體，從而得到塊狀碳化硅陶瓷，使碳化硅陶瓷采用化學(xué)氣相沉積法制備成為可能。