一種金屬掩膜版框架安全夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011546493.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112873082B 公開（公告）日 2022-05-17
申請公布號 CN112873082B 申請公布日 2022-05-17
分類號 B25B11/00（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機(jī)動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 錢超;楊波 申請（專利權(quán)）人 江蘇高光半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京行高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 212400江蘇省鎮(zhèn)江市句容經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)容寧創(chuàng)業(yè)園2#
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了掩膜版技術(shù)領(lǐng)域的一種金屬掩膜版框架安全夾具，包括固定基座和夾具支架，夾具支架之間設(shè)置有對位部件，所述對位部件可向內(nèi)部進(jìn)行手動滑動，夾具支架上安裝氣動微調(diào)節(jié)夾具，氣動微調(diào)節(jié)夾具用微氣流作為動力，推動夾持部對掩膜版的框架側(cè)邊進(jìn)行夾持，調(diào)節(jié)夾持力度，沖支臺對掩膜版的底部區(qū)域進(jìn)行緩沖支撐，掩膜版整體底部受力均勻，本發(fā)明通過設(shè)置對位部件將掩膜版的框架進(jìn)行擠壓對齊，保證掩膜版在夾持前保持穩(wěn)定和正確的夾持姿態(tài)，通過設(shè)置的氣動微調(diào)節(jié)夾具通過控制氣體的流速控制夾頭的夾持力度，氣體推動提供推力更加便于對精密部件的緩沖夾持，避免機(jī)械結(jié)構(gòu)操作的夾持力過大對掩膜版外部造成損傷。