一種獨立式離子膠薄膜門控石墨烯場效應(yīng)晶體管制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210363700.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114695124A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114695124A 申請公布日 2022-07-01
分類號 H01L21/336（2006.01）I;H01L29/16（2006.01）I;H01L29/51（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王利霞;張欣;鈕偉;胡洪萁;普勇 申請（專利權(quán)）人 南京郵電大學
代理機構(gòu) 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 210023江蘇省南京市棲霞區(qū)文苑路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種獨立式離子膠薄膜門控石墨烯場效應(yīng)晶體管制備方法，包括：首先在硅襯底上旋涂光刻膠PMMA，光刻出預(yù)設(shè)電極圖案；將曝光后的硅襯底進行顯影操作后置于異丙醇中定影；使用EBE鍍膜裝置在襯底上蒸鍍金屬層，獲得電極；然后將篩選出的石墨烯轉(zhuǎn)移至目標電極上，制備石墨烯場效應(yīng)晶體管；最后將提前配置的離子膠烘烤去除多余的溶劑后，剪切轉(zhuǎn)移至上述石墨烯場效應(yīng)晶體管上。本發(fā)明通過提出“先做電極后轉(zhuǎn)樣品”的方法，大大減少了傳統(tǒng)繁瑣操作過程對石墨烯樣品表面的負面影響，有效提升了石墨烯場效應(yīng)晶體管的制備效率和成功率，且這種“剪切粘貼”離子膠的加工策略便于應(yīng)用于制造各種基于半導體材料的晶體管，為大規(guī)模集成電路提供了參考。