一種硬掩膜單體和組合物及圖案形成方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910387089.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110041286B 公開(kāi)（公告）日 2021-03-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN110041286B 申請(qǐng)公布日 2021-03-19
分類(lèi)號(hào) C07D265/16(2006.01)I;G03F1/76(2012.01)I;C07D265/12(2006.01)I 分類(lèi) 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 王靜;肖楠 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 福建泓光半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門(mén)市精誠(chéng)新創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 賴(lài)秀華
地址 363005福建省漳州市高新區(qū)九湖鎮(zhèn)林前村林前773號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于光刻領(lǐng)域，公開(kāi)了一種硬掩膜單體和組合物及圖案形成方法。所述硬掩膜組合物含有式(1)所示的硬掩膜單體、聚合物以及溶劑，式(1)中，Ar1和Ar2各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)為6?30的芳基，m為1?4的整數(shù)。本發(fā)明提供的硬掩膜組合物兼具有優(yōu)異的耐刻蝕性能、間隙填充特征和平坦化特征。??