一種光刻膠及其制備方法和應用以及光刻方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811265920.0 申請日 -
公開（公告）號 CN109212919B 公開（公告）日 2022-02-08
申請公布號 CN109212919B 申請公布日 2022-02-08
分類號 G03F7/42（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 肖楠;宋里千 申請（專利權）人 福建泓光半導體材料有限公司
代理機構 廈門市精誠新創(chuàng)知識產權代理有限公司 代理人 賴秀華
地址 363000 福建省漳州高新區(qū)九湖鎮(zhèn)林前村林前773號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導體及集成電路領域，公開了一種光刻膠及其制備方法和應用以及光刻方法。所述光刻膠含有樹脂和光致產酸劑，所述樹脂由20?45wt％的單元單體Ⅰ、35?65wt％的單元單體Ⅱ、10?30wt％的單元單體Ⅲ共聚而成，所述單元單體Ⅰ、單元單體Ⅱ和單元單體Ⅲ的結構分別如式（1）、式（2）和式（3）所示。本發(fā)明提供的光刻膠能夠提高光刻膠與襯底表面的粘附性，并加快光刻膠曝光的速率、降低光刻反應能量、降低光刻膠被刻蝕的速率或者降低顯影時繼續(xù)發(fā)生反應的概率，實現(xiàn)光刻膠與襯底表面間沒有空洞或缺口，在填充到深溝槽底部后仍然能夠被完全顯影，襯底圖形表面仍然被光刻膠完全覆蓋。