一種旋轉(zhuǎn)密封的離子源結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210027769.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114390765A 公開（公告）日 2022-04-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN114390765A 申請(qǐng)公布日 2022-04-22
分類號(hào) H05H1/24（2006.01）I;H01J37/08（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 李文峰;李慶運(yùn);陳偉章;王磊;王東鑒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市步銳生物科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市廣諾專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 韋愛榮
地址 518000廣東省深圳市福田區(qū)泰然九路11號(hào)海松大廈B座1905
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種旋轉(zhuǎn)密封的離子源結(jié)構(gòu)，其特征包括：離子源外殼，所述離子源外殼內(nèi)安裝有進(jìn)樣電極；密封環(huán)，所述密封環(huán)設(shè)置在所述進(jìn)樣電極朝內(nèi)側(cè)的一端，所密封環(huán)的外側(cè)設(shè)有旋轉(zhuǎn)桿，所述密封環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述離子源外殼上；離子聚焦電極，所述離子聚焦電極安裝在所述離子源外殼內(nèi)；離子引出電極，所述離子引出電極安裝在所述離子源外殼內(nèi)；電離源，所述電離源安裝在所述離子源外殼外側(cè)并與所述進(jìn)樣電極配合；電離通路，所述電離通路分別設(shè)在所述離子源外殼、所述密封環(huán)、所述進(jìn)樣電極上，通過所述電離通路將所述電離源與所述進(jìn)樣電極連通；以及其他部件；實(shí)現(xiàn)了在不破壞儀器真空條件下快速對(duì)電離源進(jìn)行維護(hù)、更換工作，提高設(shè)備的維護(hù)效率。