石墨烯帶太赫茲傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710283429.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106960892B 公開(kāi)（公告）日 2018-11-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN106960892B 申請(qǐng)公布日 2018-11-06
分類號(hào) H01L31/112;H01L31/028;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃曉敏 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東同緣堂保健科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京東方盛凡知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 煙臺(tái)小米機(jī)械技術(shù)有限公司;廣東同緣堂保健科技有限公司
地址 264006 山東省煙臺(tái)市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)金東業(yè)務(wù)樓5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N石墨烯帶太赫茲傳感器，包括源漏極之間連接的石墨烯帶，通過(guò)在硅基板上形成凹槽和凹槽上的金屬層，將石墨烯層通過(guò)金屬輔助氧化方法去除與金屬層接觸的部分，形成石墨烯帶，利用石墨烯帶特有的電學(xué)性能對(duì)太赫茲進(jìn)行探測(cè)，實(shí)現(xiàn)高效率的石墨烯帶太赫茲傳感器。