壓力傳感器的性能測試方法、測試裝置及存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010465052.1 申請日 -
公開（公告）號 CN111537143B 公開（公告）日 2022-02-25
申請公布號 CN111537143B 申請公布日 2022-02-25
分類號 G01L27/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 姜琳琳;孫振國;冀志猛 申請（專利權(quán)）人 榮成歌爾微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市世紀(jì)恒程知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 陳文斌
地址 264200山東省威海市榮成市興業(yè)路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種壓力傳感器的性能測試方法，包括：在不同預(yù)設(shè)溫度以及同一預(yù)設(shè)壓力值下獲取壓力傳感器的第一實(shí)際溫度值、第二實(shí)際溫度值、第一實(shí)際壓力值以及第二實(shí)際壓力值；根據(jù)所述第一實(shí)際溫度值、所述第一實(shí)際壓力值、所述第二實(shí)際溫度值以及所述第二實(shí)際壓力值獲取溫度漂移值；在所述溫度漂移值小于或等于預(yù)設(shè)溫度漂移值時(shí)，根據(jù)第二預(yù)設(shè)壓力值以及所述第二預(yù)設(shè)溫度對所述壓力傳感器進(jìn)行壓力測試，所述第一預(yù)設(shè)壓力值小于所述第二預(yù)設(shè)壓力值。本發(fā)明還公開一種測試裝置及存儲介質(zhì)。本發(fā)明通過控制單一變量，保證測試溫度漂移值的準(zhǔn)確性，同時(shí)避免加壓對壓力傳感器硅膜片的影響，降低對壓力傳感器的誤判率的有益效果。