一種微米軸向運(yùn)動調(diào)節(jié)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023337778.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214150456U 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN214150456U 申請公布日 2021-09-07
分類號 G01N21/84（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張自然;黎藝文;蔣煜;麥明秀;楊智;尹尚軍 申請（專利權(quán)）人 廣東省傲來科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 佛山覽眾深聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王詩捷
地址 518000廣東省深圳市龍華區(qū)民治街道民治社區(qū)梅花山莊欣梅園C23棟101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種微米軸向運(yùn)動調(diào)節(jié)裝置，運(yùn)動模組的底端固定連接有步進(jìn)電機(jī)，運(yùn)動模組的內(nèi)側(cè)裝有絲桿固定座、絲桿、絲桿支承座、驅(qū)動螺母，絲桿兩側(cè)裝有平行滑軌，所述步進(jìn)電機(jī)與絲桿通過膜片聯(lián)軸器剛性連接，避免出現(xiàn)回沖間隙，影響精度，為控制運(yùn)動模組精度，其有效行程控制在50mm以內(nèi)，且螺桿使用C3級精度以下研磨絲桿，驅(qū)動螺母與活動板剛性連接，在步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動驅(qū)動螺母轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動時，帶動活動板做精密直線運(yùn)動，因此光學(xué)檢測裝置可以進(jìn)行微調(diào)，提高了光學(xué)檢測的精度。