一種CVD工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)裝置及CVD裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210382788.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114686859A 公開(kāi)（公告）日 2022-07-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN114686859A 申請(qǐng)公布日 2022-07-01
分類號(hào) C23C16/458（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 孫利;朱佰喜;薛抗美;蔣彪;楊偉峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣州志橙半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中和立達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 510700廣東省廣州市黃埔區(qū)（中新廣州知識(shí)城）億創(chuàng)街1號(hào)406房之337（僅限辦公）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種CVD工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)裝置及CVD裝置，CVD工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)裝置包括：旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)包括：主動(dòng)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)和從動(dòng)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，所述主動(dòng)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)和從動(dòng)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)外側(cè)均鑲嵌齒套，主動(dòng)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的齒套和從動(dòng)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的齒套嚙合；所述主動(dòng)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)通過(guò)主傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接在爐體內(nèi)，所述主動(dòng)傳動(dòng)軸與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。用來(lái)解決制件相對(duì)于氣場(chǎng)固定不動(dòng)的情況，放置在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上的工裝治具架在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中充當(dāng)了扇葉的作用攪動(dòng)了腔室內(nèi)的原有氣場(chǎng)，使其能更好的在腔體內(nèi)行成一個(gè)相對(duì)穩(wěn)定擴(kuò)散的氣場(chǎng)，制件在氣場(chǎng)內(nèi)保持一定的速度旋轉(zhuǎn)與反應(yīng)氣體充分接觸，從而使反應(yīng)氣體得以有足夠的使用效率。