具串聯(lián)式冷卻室的多流道氣體噴射器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022411353.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215560652U 公開（公告）日 2022-01-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN215560652U 申請(qǐng)公布日 2022-01-18
分類號(hào) C23C16/455（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I;C23C14/22（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 吳銘欽;劉峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州雨竹機(jī)電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市萬慧達(dá)律師事務(wù)所 代理人 劉艷麗
地址 215000江蘇省蘇州市自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)蘇虹中路39號(hào)2幢2樓西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)為一種具串聯(lián)式冷卻室的多流道氣體噴射器，包括噴射殼體內(nèi)部環(huán)設(shè)有多層冷卻室，每一冷卻室的側(cè)壁頂部設(shè)有至少一溢流開口，以連通相鄰的冷卻室，每一冷卻室內(nèi)還分別設(shè)有多條排氣管，且排氣管的開口外露于噴射殼體外。本申請(qǐng)可令每一排氣管浸泡于冷卻液中，達(dá)到整體排氣管控溫的效果，且排氣管突出于串聯(lián)式冷卻室的多流道氣體噴射器底部，搭配晶座（susceptor）的內(nèi)凹結(jié)構(gòu)，能有效掃除晶圓邊緣的粉塵及沉積物，提升產(chǎn)品制造良率。