磁吸式探針卡裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120016530.0 申請日 -
公開（公告）號 CN214374930U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214374930U 申請公布日 2021-10-08
分類號 G01R1/073（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 吳銘欽;劉峰;黃宏義 申請（專利權）人 蘇州雨竹機電有限公司
代理機構 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 代理人 李林
地址 215000江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)蘇虹中路39號2幢2樓西側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型為一種磁吸式探針卡裝置，包括一探針卡及一測試座。探針卡包括復數(shù)探針設置在基板上，且探針向下延伸至基板下表面，每一探針上表面鍍有一磁性層。測試座則對應探針卡設置，測試座包括一晶圓測試平臺及一電磁鐵，電磁鐵設置于晶圓測試平臺下方，電磁鐵能產生磁力，以將復數(shù)探針吸附至晶圓測試平臺，令復數(shù)探針接觸到晶圓測試平臺上的晶圓，以進行晶圓檢測。本實用新型可利用磁力吸附探針接觸到晶圓，能有效確保復數(shù)探針都接觸晶圓探測點，且避免探針被過度施力，減少探針結構的疲勞或斷裂，同時減少晶圓測試接點上針痕的產生程度。