氣體反應裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022911811.0 申請日 -
公開（公告）號 CN214736074U 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN214736074U 申請公布日 2021-11-16
分類號 C23C16/455（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 吳銘欽;劉峰 申請（專利權）人 蘇州雨竹機電有限公司
代理機構 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權代理有限責任公司 代理人 李林
地址 215000江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)蘇虹中路39號2幢2樓西側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型為一種氣體反應裝置，其應用于面下型（Face Down）的化學氣相沉積反應技術。氣體反應裝置包括一反應腔以及一基板承載裝置，基板承載裝置設置在反應腔內的上部。氣體反應裝置特征在于，基板承載裝置與反應腔之間形成一快速氣流通道，且快速氣流通道的高度大于0毫米且小于或等于5毫米。本實用新型將快速氣流通道的高度縮減至提供5毫米，以提升快速氣流通道內氣體流通的速率，減少基板上雜質沉降以及氣體的消耗。