預(yù)熱氣體反應(yīng)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022910830.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214736073U 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN214736073U 申請公布日 2021-11-16
分類號 C23C16/455（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 吳銘欽;劉峰 申請（專利權(quán)）人 蘇州雨竹機(jī)電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 李林
地址 215000江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)蘇虹中路39號2幢2樓西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型為一種預(yù)熱氣體反應(yīng)裝置，其應(yīng)用于面下型（Face Down）或面上型的化學(xué)氣相沉積反應(yīng)技術(shù)。預(yù)熱氣體反應(yīng)裝置包括反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)有基板承載裝置，其與反應(yīng)腔之間形成快速氣流通道。反應(yīng)腔及基板承載裝置上設(shè)有噴頭連通管路總成的復(fù)數(shù)管路，其供應(yīng)反應(yīng)氣體至噴頭的復(fù)數(shù)噴氣孔噴出，以在快速氣流通道快速流動。特征在于，更包括加熱單元包覆管路總成的復(fù)數(shù)管路，以對復(fù)數(shù)管路內(nèi)的反應(yīng)氣體加熱。本實用新型為使氣流快速流動后，仍可維持基板形成薄膜的功效，利用加熱單元預(yù)先對氣體加熱，當(dāng)氣體接觸基板時，即可與基板反應(yīng)形成薄膜。