一種用于光刻機(jī)的對準(zhǔn)鏡頭

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210148119.8 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN114488487A 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號(hào) CN114488487A 申請公布日 2022-05-13
分類號(hào) G02B13/00（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 李文靜;章廣飛;王運(yùn)鋼;薛業(yè)保 申請（專利權(quán)）人 安徽國芯智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 230051安徽省合肥市包河經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)重慶路與蘭州路交叉口中關(guān)村協(xié)同創(chuàng)新智匯園D3棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于光刻機(jī)的對準(zhǔn)鏡頭，由三組透鏡組和分光鏡/分光棱鏡組合而成，三組透鏡組分別為第一透鏡組G1、第二透鏡組G2、第三透鏡組G3；第一透鏡組G1和第二透鏡組G2構(gòu)成對準(zhǔn)標(biāo)識(shí)搜尋鏡頭，第三透鏡組G3和第二透鏡組G2構(gòu)成高倍率鏡頭，分光鏡/分光棱鏡位于兩組鏡頭光路的交匯處；三組透鏡組的參數(shù)滿足關(guān)系式F1/F2＝B1，F(xiàn)3/F2＝B2，其中F1為第一透鏡組的焦距，F(xiàn)2為第二透鏡組的焦距，F(xiàn)3為第三透鏡組的焦距，B1為對準(zhǔn)標(biāo)識(shí)搜尋鏡頭的倍率，B1為高倍率鏡頭的倍率。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，兩組鏡頭共用第一透鏡組，結(jié)構(gòu)得到簡化，且兩組鏡頭視場完全同軸；保證高分辨率的同時(shí)，能夠快速搜尋到對準(zhǔn)標(biāo)識(shí)。